Die SMU (Source Measure Unit oder auch Sourcemeter genannt) bietet nicht nur präzise Spannungs- und Stromerzeugung, sondern gleichzeitig auch Spannungs- und/oder Strommessung. Es kombiniert die nützlichen Funktionen eines Digitalmultimeters (DMM), eines Netzteils, einer reinen Stromquelle, einer elektronischen Last und eines Impulsgenerators in einem einzigen, eng synchronisierten Instrument mit kompaktem Formfaktor. SMUs werden aufgrund der Vielseitigkeit und der hohen Genauigkeit des Messgeräts als nützlicher angesehen als die Kombination der anderen fünf Instrumente.