Source Measure Units ( SMU ) oder SourceMeter sind eine geniale Kombination von 4 Funktionen in einem einzigen Gerät. So besteht ein SourceMeter aus einer Spannungsquelle, einer Stromquelle, einem Volt- und einem Amperemeter. Alles ist Bipolar ausgelegt, sodass ein echter Vier-Quadrantenbetrieb verwendet werden kann. Das bedeutet, sie haben eine aktive Quelle, als auch eine aktive Last (Senke) zur Verfügung. Die einzelnen Modelle bieten Spannungen von μV bis 3kV und Ströme von wenigen fA bis 100A an. Mit diesem weiten Bogen lassen sich Widerstandsmessungen von μΩ bis PΩ realisieren. Die Quellen- und Messzeiten bewegen sich von Gleichstrom/spannung bis zu 200μs Pulsbetrieb.