Das aus Einzelgeräten modular aufgebaute Testsystem S540 mit Testspannungen bis 3kV garantiert eine hohe Kanalzahl und universellen Einsatz in allen Bereichen der Halbleitermesstechnik. Menügeführte Software und Ansteuerung von gängigen Bauteil- oder Waferhandlern machen dieses System zu einem sehr flexiblen Werkzeug, das mit geringen Kosten auch für zukünftige Anforderungen geeignet ist.